激光尘埃粒子计数器，六粒径通道，半导体等工业洁净检测

激光尘埃粒子计数器的工作原理是光散射现象。当空气中的微粒在激光束的照射下，会发生散射，散射光的强度与微粒的表面积成正比，可以推断出微粒的大小和数量。通过内置的采样泵抽取待测气体，使气体以规定的流量通过激光头。气体中的尘埃粒子散射激光信号，这些散射光被光学传感器接收并转化为电脉冲信号。随后，这些脉冲信号经过放大和数字信号处理，与标准粒子信号进行比较，最终将结果以粒子数量和粒径分布的形式显示出来。

六粒径通道的激光尘埃粒子计数器，能够一次采样同时测得 0.3μm、0.5μm、1.0μm、3.0μm、5.0μm、10.0μm 这六个粒径通道的尘埃粒子数，实时显示各粒径通道粒子的数目及变化情况。

在半导体制造行业，生产过程对环境洁净度要求很严苛。比如在光刻环节，尘埃粒子落在晶圆上，可能导致光刻图案出现偏差，使芯片出现短路、断路等功能性故障，降低产品良率。在 CMP 抛光区，较大粒径如 5.0μm - 10.0μm 的尘埃粒子，可能会在抛光过程中造成晶圆表面的划痕，影响芯片的电学性能和可靠性。而六粒径通道的激光尘埃粒子计数器，能够精准地监测到不同粒径范围的尘埃粒子浓度变化，帮助企业及时发现潜在的污染源。若在某一区域检测到 0.3μm - 1.0μm 粒径的粒子浓度异常升高，企业可排查是否是空气过滤系统中针对微小粒子的过滤层出现了破损；若 5.0μm - 10.0μm 粒径的粒子增多，或许可能是设备的机械运动部件产生了磨损碎屑，需及时进行维护。

在医药工业的无菌药品生产车间，同样需要严格控制尘埃粒子。对于 A 级区，需要重点在线监测≥0.5μm 粒子，动态时其数量需≤3520/m³，静态时≤20/m³。激光尘埃粒子计数器的六粒径通道可全面监测不同粒径粒子，确保生产环境符合标准，保障药品质量安全。

除了半导体和医药行业，在光学、精密机械加工等对环境洁净度有高要求的工业领域，也需要六粒径通道的激光尘埃粒子计数器。它为企业提供了全面、精准的洁净环境检测数据，助力企业及时采取措施，优化生产环境，提升产品质量与生产效率。